一、特点：
1、无导头粗糙度传感器，以精密导轨为测量基准，具有精度更高，应用更加广泛的优势。极低的残值噪声，≤0.005μm！
2、残值噪声是粗糙度测量的一项重要指标，残值噪声决定了测量的基础精度。
3、分析功能：测量完成后，可根据需要选取需要评价的原始数据进行粗糙度分析，还可以剔除不需要的数据。
4、测量长度过短时，可采集完成后，选择适当的评价长度进行分析。
二、测量原理
本仪器测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z1轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。
三、测量功能
1、粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
2、波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
3、原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
四、测量范围
|
序号 |
项目 |
测量范围 |
分辨率 |
|
1 |
驱动器 |
150mm |
0.2μm |
|
2 |
传感器 |
±620μm |
262144:1 |
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3 |
立柱 |
420mm |
- |
五、技术规格
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序号 |
名称 |
项目 |
参数 |
|
1 |
技术参数 |
线性精度 |
≤±(5nm+2.8%) |
|
残值噪声 |
≤0.005μm |
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|
重复性 |
1δ≤1nm |
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截止波长 |
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
||
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评定长度 |
λcX2、3、4、5、6、7 |
||
|
2 |
运动控制 |
X轴驱动方式 |
电动 |
|
Z轴驱动方式 |
电动 |
||
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X轴驱动速度 |
0.05~15mm/s |
||
|
Z轴驱动速度 |
0.2-15mm/s |
六、环境要求
1、室内周围应无影响测量的灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场
2、地面震动最大RMS： ＜50HZ 2.5μm/s / ＞50HZ 5.0μm/s
3、电 源：AC 220V±5% 50Hz 单独地线
4、功率需求：500W
5、温度：现场温度：12～26℃ 理想温度：20±2℃ 阶梯温度不超过1℃/h
6、相对湿度：＜85%（无凝露）
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