一、特点：
1、一次测量，实现粗糙度、波纹度、轮廓分析
2、实现全范围内的粗糙度、波纹度测量
3、X向采用数字式传感器，Z1采用多段式电感传感器
4、多段式高精度传感器具有超大量程，较大限度保持了传感器的原有精度。
5、采用免维护直线运动导轨，精密控制系统。
6、采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延时；足够密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供有力的保障。
二、测量原理
本仪器测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z1轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。
三、测量功能
1、轮廓测量功能：
（1）尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
（2）夹角：包含水平角、垂直角、夹角
（3）位置公差：包含平行度、垂直度
（4）形状公差：包含直线度、凸度、圆弧
（5）轮廓度辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
2、糙度测量功能：
（1）粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
（2）波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
（3）原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
四、技术参数
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序号 |
项目 |
规格 |
|
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1 |
测量范围 |
X轴 |
0-200mm可选 |
|
Z轴 |
0-620mm可选 |
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|
Z1轴 |
6mm,2mm |
||
|
2 |
线性精度 |
轮廓 |
≤±0.07%f.s.(95mm测杆) |
|
粗糙度 |
≤±(12nm+3%) |
||
五、环境要求
1、室内周围应无影响测量的灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场
2、地面震动最大RMS： ＜50HZ 2.5μm/s / ＞50HZ 5.0μm/s
3、电源：AC 220V±5% 50Hz 单独地线
4、功率需求：500W
5、温度：现场温度：12～26℃
6、理想温度：20±2℃ 阶梯温度不超过1℃/h
7、相对湿度：＜85%（无凝露）
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